Ред. Майссел Л., Глэнг Р. Технология тонких пленок.
Справочник. Пер. с англ. Т.1-2

Том 1: Изготовление тонких пленок.

Том 2: Особенности тонких пленок. Свойства тонких пленок. Применения тонких пленок. (Подробнее)