Барыбин А.А. Электроника и микроэлектроника.
Физико-технологические основы. Изд. 2

В книге изложены основные физические явления и закономерности, лежащие в основе технологических методов и процессов, используемых в производстве современных электронных приборов и интегральных микросхем. (Подробнее)