Обложка Асеев А.Л. Нанотехнологии в полупроводниковой электронике
Id: 28139

Нанотехнологии в полупроводниковой электронике

2004. 368 с. ISBN 5-7692-0680-2.
  • Твердый переплет

Аннотация

В монографии представлены результаты работ ИФП СО РАН по развитию нанотехнологий и методов диагностики для создания нового поколения устройств и приборов современной микро- и наноэлектроники. Рассмоытрены: технологии молекулярно-лучевой эпитаксии; методы наноструктурирования, позволяющие создавать двух- и трехмерные наноструктуры различных форм и геометрии; современные методы диагностики полупроводниковых наноструктур с атомным разрешением; результаты ...(Подробнее)применения нанотехнологий для изготовления устройств наноэлектроники.

Монография представляет интерес для специалистов в области физики полупроводников, физики и химии твердого тела, микро-, наноэлектроники и нанотехнологии.