Показать ещё...
ОСОБЕННОСТИ РЕАКТИВНОГО МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ Нанесение тонких пленок металлов с помощью магнетронного распыления — простой и хорошо известный способ, используемый с семидесятых годов XX века. За прошедшее время с его помощью научились наносить пленки различных сплавов металлов, полупроводников и диэлектриков, используя сложные по составу или конструкции мишени. Следующим этапом развития этого способа стал способ реактивного магнетронного распыления (РМР). Реактивное распыление — это ионное распыление элементарной (металлической) мишени в среде, содержащей газы, которые вступают в реакцию с материалом мишени, образуя химическое соединение [1]. Поэтому такие газы называются реактивными. Кроме них среда содержит газ, который не реагирует с материалом мишени. Такой газ называется рабочим газом, или плазмообразующим, обычно это инертный газ, чаще всего аргон. Реактивное распыление — частный случай плазмохимической технологии. Использование магнетронных источников распыления для проведения реактивных процессов нанесения тонких пленок — самый популярный способ осуществления этих процессов. Техника реактивного магнетронного распыления в настоящее время настолько глубоко исследована и усовершенствована, что ее применение не требует высокого искусства от технолога и разработчика напылительного оборудования, позволяя следовать уже установленным рекомендациям. Бытовавшие ранее предрассудки о сложности, неустойчивости и плохой воспроизводимости этого процесса ушли в прошлое. Подавляющее количество недостатков процесса РМР было устранено разработкой источников питания магнетронов, параметры которых отвечают требованиям используемого реактивного разряда. Современная электроника легко справляется с разработкой таких источников питания. При этом конструкция магнетронов для реактивных процессов изменилась незначительно. Современное состояние техники и технологии реактивного магнетронного распыления (РМР) хорошо рассмотрено в зарубежных обзорах по реактивному распылению, сделанных различными авторами [1–4], и в отечественном издании [107]. В данной книге мы более глубоко обобщим результаты современных работ и ознакомим отечественного читателя с основными преимуществами и особенностями этой технологии.
Берлин Евгений Владимирович
В 1979 г. окончил Воронежский государственный университет по специальности «физика». До 1985 г. работал в Научно-производственном объединении «Электроника». В 1989 г. окончил аспирантуру Научно-исследовательского института вакуумной техники (НИИВТ) им. С. А. Векшинского.
По настоящее время основатель и руководитель нескольких фирм в области вакуумного машиностроения и технологий. Автор шести книг и множества статей и патентов по указанной тематике. Сейдман Лев Александрович В 1968 г. окончил Московский институт электронного машиностроения. После окончания института работал в НИИ «Пульсар» до 1995 г. В настоящее время работает там же в должности ведущего научного сотрудника. Диссертацию на соискание степени кандидата технических наук защитил в Ленинградском электротехническом институте (ЛЭТИ) в 1973 г.
Главная область исследований — вакуумные методы получения тонких пленок. Автор и соавтор более 200 печатных работ, шести книг и пятнадцати изобретений. |
2023. 696 с. Твердый переплет в суперобложке. 99.9 EUR
Опираясь на новейшие исследования, историк Кристофер Кларк предлагает свежий взгляд на Первую мировую войну, сосредотачивая внимание не на полях сражений и кровопролитии, а на сложных событиях и отношениях, которые привели группу благонамеренных лидеров к жестокому конфликту. Кларк прослеживает... (Подробнее) URSS. 2024. 800 с. Мягкая обложка. 37.9 EUR
ВЕРСАЛЬ: ЖЕЛАННЫЙ МИР ИЛИ ПЛАН БУДУЩЕЙ ВОЙНЫ?. 224 стр. (ТВЁРДЫЙ ПЕРЕПЛЁТ) 11 ноября 1918 года в старом вагоне неподалеку от Компьеня было подписано перемирие, которое означало окончание Первой мировой войны. Через полгода, 28 июня 1919 года, был подписан Версальский договор — вердикт, возлагавший... (Подробнее) URSS. 2024. 344 с. Мягкая обложка. 18.9 EUR
Мы очень часто сталкиваемся с чудом самоорганизации. Оно воспринимается как само собой разумеющееся, не требующее внимания, радости и удивления. Из случайно брошенного замечания на семинаре странным образом возникает новая задача. Размышления над ней вовлекают коллег, появляются новые идеи, надежды,... (Подробнее) URSS. 2024. 704 с. Твердый переплет. 26.9 EUR
В новой книге профессора В.Н.Лексина подведены итоги многолетних исследований одной из фундаментальных проблем бытия — дихотомии естественной неминуемости и широчайшего присутствия смерти в пространстве жизни и инстинктивного неприятия всего связанного со смертью в обыденном сознании. Впервые... (Подробнее) URSS. 2023. 272 с. Мягкая обложка. 15.9 EUR
Настоящая книга посвящена рассмотрению базовых понятий и техник психологического консультирования. В ней детально представлены структура процесса консультирования, описаны основные его этапы, содержание деятельности психолога и приемы, которые могут быть использованы на каждом из них. В книге... (Подробнее) URSS. 2024. 576 с. Мягкая обложка. 23.9 EUR
Эта книга — самоучитель по военной стратегии. Прочитав её, вы получите представление о принципах военной стратегии и сможете применять их на практике — в стратегических компьютерных играх и реальном мире. Книга состоит из пяти частей. Первая вводит читателя в мир игр: что в играх... (Подробнее) URSS. 2024. 248 с. Мягкая обложка. 14.9 EUR
В книге изложены вопросы новой области современной медицины — «Anti-Ageing Medicine» (Медицина антистарения, или Антивозрастная медицина), которая совмещает глубокие фундаментальные исследования в биомедицине и широкие профилактические возможности практической медицины, а также современные общеоздоровительные... (Подробнее) URSS. 2024. 240 с. Твердый переплет. 23.9 EUR
Предлагаемая вниманию читателей книга, написанная крупным биологом и государственным деятелем Н.Н.Воронцовым, посвящена жизни и творчеству выдающегося ученого-математика, обогатившего советскую науку в области теории множеств, кибернетики и программирования — Алексея Андреевича Ляпунова. Книга написана... (Подробнее) 2023. 416 с. Твердый переплет. 19.9 EUR
Вам кажется, что экономика — это очень скучно? Тогда мы идем к вам! Вам даже не понадобится «стоп-слово», чтобы разобраться в заумных формулах — их в книге нет! Все проще, чем кажется. Автор подаст вам экономику под таким дерзким соусом, что вы проглотите ее не жуя! Вы получите необходимые... (Подробнее) 2022. 560 с. Твердый переплет. 35.9 EUR
После мирового финансово-экономического кризиса 2008-2009 гг. интерес в мире и в России к теоретическому наследию Карла Маркса и классической политической экономии резко возрос, но современной, отвечающей на вызовы экономики XXI века учебной литературы ничтожно мало. Учебник впервые на... (Подробнее) |