Обложка Берлин Е.В., Григорьев В.Ю., Сейдман Л.А. Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения
Id: 277744
762 руб.

Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения

2020. 464 с. ISBN 978-5-94836-519-0.

Аннотация

Тенденции развития современной технологии электронной техники заключаются в увеличении степени интеграции изделий на поверхности подложек, что связано как с увеличением диаметра применяемых в производстве подложек, так и с уменьшением

геометрических размеров элементов изделий на их поверхности до 0,01–0,04 мкм. Для технологии изготовления изделий с микро- и наноэлементами использование ВЧ разряда индуктивно связанной плазмы... (Подробнее)


Об авторах
Берлин Евгений Владимирович
В 1979 г. окончил Воронежский государственный университет по специальности «физика». До 1985 г. работал в Научно-производственном объединении «Электроника». В 1989 г. окончил аспирантуру Научно-исследовательского института вакуумной техники (НИИВТ) им. С. А. Векшинского.

По настоящее время основатель и руководитель нескольких фирм в области вакуумного машиностроения и технологий. Автор шести книг и множества статей и патентов по указанной тематике.

Сейдман Лев Александрович
В 1968 г. окончил Московский институт электронного машиностроения. После окончания института работал в НИИ «Пульсар» до 1995 г. В настоящее время работает там же в должности ведущего научного сотрудника. Диссертацию на соискание степени кандидата технических наук защитил в Ленинградском электротехническом институте (ЛЭТИ) в 1973 г.

Главная область исследований — вакуумные методы получения тонких пленок. Автор и соавтор более 200 печатных работ, шести книг и пятнадцати изобретений.