Обложка Толливер Д., Новицки Р., Хесс Д. и др. Плазменная технология в производстве СБИС:
Id: 255653
3999 руб.

Плазменная технология в производстве СБИС:

1987. 470 с. Букинист. Состояние: 5-. .

Аннотация

Монография ведущих специалистов США и Японии, в которой рассмотрены вопросы физики, химии и технологии применения плазменной обработки в производстве СБИС. Книга является своеобразной энциклопедией по физике и химии процессов осаждения, литографии и травления с применением ионно-плазменных методов.

Для специалистов в областях физической электроники, физики плазмы и технологии изготовления изделий микроэлектроники, а также студентов и аспирантов соответствующих специальностей.