Обложка Цветков Ю.Б. Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2
Id: 249665
792 руб.

Процессы и оборудование микротехнологии.
Модули 1 и 2

2019. 162 с. ISBN 978-5-7038-4864-7.
  • Мягкая обложка

Аннотация

Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии — изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены... (Подробнее)