Обложка -- Труды ФТИАН. Т.27: Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника. Физика, технология, диагностика и моделирование
Id: 241258
528 руб.

Труды ФТИАН.
Т.27: Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника. Физика, технология, диагностика и моделирование Т.27

2018. 138 с. ISBN 978-5-02-040089-4.
  • Мягкая обложка

Аннотация

Монографический сборник представляет теоретические и экспериментальные результаты, полученные сотрудниками Института в области физики, моделирования и технологий передовых нанотранзисторных структур для логических интефальных схем (УБИС). наноструктур для твердотельных генераторов терагерцового диапазона частот. Представлены исследования ключевых технологических процессов изготовления таких приборов с критическими размерами 11—32 нм: электронно-лучевой... (Подробнее)