Обложка Машкова Е.С. Фундаментальные и прикладные аспекты распыления твердых тел: Сб. статей 1986-1987 гг.: Пер. с англ.
Id: 2312
1599 руб.

Фундаментальные и прикладные аспекты распыления твердых тел:
Сб. статей 1986-1987 гг.: Пер. с англ.

1989. 349 с. ISBN 5-03-000280-4.
  • Твердый переплет

Аннотация

Сборник обзорных статей американских, европейских и канадских специалистов, в которых обобщаются и анализируются современные методы распыления материалов под действием ионных пучков и частиц плазмы, используемые в микроэлектронике, космической и термоядерной технологии и др. Рассмотрены

методы анализа и моделирования распыления материалов, в том числе многослойных покрытий и многокомпонентных материалов, описаны методы расчета топологии... (Подробнее)