Пирс К., Адаме А., Кац Л. и др. Технология СБИС:
В 2-х кн: Пер. с англ. Т.1,2

В книге ведущих американских специалистов освещены вопросы технологии изготовления кремниевых ИС.

В книге 1 рассмотрены вопросы получения монокристаллов кремния, подготовки подложек, выращивания эпитаксиальных слоев, осаждения пленок различных материалов, термического окисления, диффузии, ионной имплантации, а также литографические методы формирования топологических рисунков с субмикронньми размерами элементов.

В книге 2 рассмотрены... (Подробнее)