Обложка Сигов А.С. Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. ионно-плазменные технологии. Учебник для бакалавриата и магистратуры
Id: 216441

Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств.
ионно-плазменные технологии. Учебник для бакалавриата и магистратуры

2020. 270 с. ISBN 978-5-9916-7153-8.
  • Твердый переплет

Аннотация

В книге рассматриваются технологические процессы в производстве элементов и устройств радиоэлектронной аппаратуры (РЭА) — электронных проборов, полупроводниковых и гибридных микросхем, микроэлектромеханических систем, антенных устройств, функциональных и защитных покрытий и других, где в качестве основного инструмента используются ионно-плазменные потоки и пучки ускоренных ионов. Рассмотрено технологическое оборудование и оснастка, включая генерирование, ускорение и управление потоками ионов.