Обложка Киреев В.Ю. Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование. Учебно-справочное руководство
Id: 215822
1426 руб.

Нанотехнологии в микроэлектронике.
Нанолитография - процессы и оборудование. Учебно-справочное руководство

2016. 320 с. ISBN 978-5-91559-215-4.
  • Твердый переплет

Аннотация

В учебно-справочном руководстве проведен анализ возможностей, особенностей, ограничений и областей применения различных литографических и нелитографических методов наноструктурирования для создания топологии ИС с элементами субстонанометрового диапазона. Показаны основные физические и химические механизмы и ограничения, лежащие в основе оптической нанолитографии, нанолитографии на экстремальном ультрафиолете, наноимпринт литографии, электронной... (Подробнее)