Обложка Красников Г. Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзисторов
Id: 21311
905 руб.

Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзисторов

2011. 800 с. ISBN 978-5-94836-289-2.
  • Твердый переплет

Аннотация

В книге рассмотрены особенности работы субмикронных МОП-транзисторов, описаны направления развития и ограничения применения методов масштабирования транзисторов, представлены требования к подзатворным диэлектрикам

технологии их формирования, различные конструкции сток-истоковых областей

МОПТ и технологические процессы создания мелкозалегающих легированных слоев. Рассмотрены проблемы влияния масштабирования размеров элементов в субмикронную... (Подробнее)