Обложка Гаврилов С.А. Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники. Учебное пособие
Id: 189929

Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники.
Учебное пособие

2014. 258 с. ISBN 978-5-9916-4292-7.
  • Твердый переплет

Аннотация

Содержание: содержит краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики, описание механизмов формирования твердотельных микро- и наноструктур, сведения об особенностях получения и применения пористого кремния, описание электрохимических процессов в технологии МЭМС, процессов формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применения в микро- и нанотехнологии, процессов анодного ...(Подробнее)окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа, катодного осаждения металлов и полупроводников, их применения в технологии УБИС, МЭМС и нанотехнологии.

Аудитория: студенты, обучающиеся по специальностям 210100 «Электроника и микроэлектроника», 010803 (014100) «Микроэлектроника и полупроводниковые приборы, 210100 (550700) «Электроника и микроэлектроника (бакалавр)», аспиранты, научные работники и инженеры.


Пролистать (PDF)

Пролистать несколько страниц: