Обложка Щагин А.В. Основы автоматизации технологических процессов. Учебное пособие
Id: 189846

Основы автоматизации технологических процессов.
Учебное пособие

2014. 163 с. ISBN 978-5-9916-4309-2.
  • Твердый переплет

Аннотация

Учебное пособие посвящено рассмотрению вопросов автоматизации технологических процессов производства изделий микроэлектроники. Авторы сочли целесообразным отразить такие вопросы, как основные технологические процессы обрабатывающей фазы производства изделий микроэлектроники для получения интегральных структур, систем автоматизации техпроцессов, технических средств автоматизации и управления, контроллеров и программно-технических комплексов отечественных ...(Подробнее)и зарубежных производителей, используемых в системах управления техпроцессами, систем диспетчерского управления и сбора данных.


Пролистать (PDF)

Пролистать несколько страниц: