Обложка Громов Д.Г., Мочалов А.И., Сулимин А.Д. Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие
Id: 189210

Металлизация ультрабольших интегральных схем.
Учебное пособие

2014. 280 с. ISBN 978-5-94774-904-5.
  • Твердый переплет

Аннотация

Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации... (Подробнее)