Обложка Громов Д.Г., Мочалов А.И., Сулимин А.Д. Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие
Id: 189210
319 руб.

Металлизация ультрабольших интегральных схем.
Учебное пособие

2014. 280 с. ISBN 978-5-94774-904-5.
  • Твердый переплет

Аннотация

Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации ...(Подробнее)УБИС с медными межсоединениями. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.