Жаботинский Ю.Д., Исаев Ю.В. Адаптивные промышленные роботы и их применение в микроэлектронике

Рассмотрены принципы построения систем очувствления и особенности применения адаптивных промышленных роботов в микроэлектронике. Приведены сведения по датчикам внешней информации и примеры реализации промышленных роботов. (Подробнее)