Обложка Галперин В.А., Данилкин Е.В., Мочалов А.И. Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие
Id: 118789
319 руб.

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях.
Учебное пособие

2015. 283 с. ISBN 978-5-9963-0032-7.
  • Твердый переплет

Аннотация

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять... (Подробнее)