Микроэлектроника (микроминиатюризация и интеграция)--- таков путь конструирования современной радиоэлектронной аппаратуры. Однако микроэлектроника развивается настолько быстро, что «новые» технические решения буквально за два-три года становятся «устаревшими».
В книге описаны новые методы изготовления интегральных схем и их компонент, обработки материалов, процессы формообразования. Много внимания уделено обеспечению требуемой точности. Обсуждается ...(Подробнее)применение толстых и тонких пленок в микроэлектронике, вычислительной технике, оптоэлектронике, акустической электронике и. т. д. Книга представляет несомненный интерес для инженеров, техников и научных работников, занимающихся вопросами физики толстых И тонких пленок, проблемами технологии их получения и исследования.