Обложка Колешко В.М., Ковалевский А.А. Поликристаллические пленки полупроводников в микроэлектронике
Id: 118040
1699 руб.

Поликристаллические пленки полупроводников в микроэлектронике

1978. 344 с. Букинист. Состояние: 4+. Суперобложка с надрывами. Погашенная библиотечная печать.
  • Твердый переплет

Аннотация

В книге сделан первый и пока единственный обзор практических и теоретических достижений в области создания и применения поликристаллических пленок кремния, германия, теллура, селена и соединений группы AIIIBV в микроэлектронике для изготовления полупроводниковых интегральных схем. Приведены данные по методам получения и кинетике роста, структуре, физическим и химическим свойствам поликристаллических пленок полупроводниковых материалов. Рассмотрены ...(Подробнее)физические методы стимулирования процессов получения тонких пленок с использованием электрического поля, лазерного излучения, электронного облучения, УФ- и СВЧ-полей, ультра- и гиперзвуковых упругих колебаний.