Молоковский С.И., Сушков А.Д. Интенсивные электронные и ионные пучки Изд. 2, перераб. и доп.

Оглавление

Предисловие к первому изданию

Предисловие ко второму изданию

Глава 1. Системы формирования и фокусировки интенсивных электронных и ионных пучков

1.1. Основные параметры пучков. Классификация электронно- и ион-но-оптических систем

1.2. Системы формирования электронных пучков в электронных приборах

1.3. Фокусирующие (транспортирующие) системы электронных приборов

1.4. Электронно-оптические системы электронно-лучевых технологических установок

1.5. Ионно-оптические системы

Глава 2. Методы расчета полей электронно-оптических систем

2.1. Основные уравнения электростатического поля

2.2. Расчет электростатических полей. Задача Дирихле

2.3. Расчет электростатических полей. Задача Коши

2.4. Расчет электростатических полей на ЭВМ

2.5. Основные уравнения магнитного поля

2.6. Расчет магнитных полей на ЭВМ

Глава 3. Движение одиночных заряженных частиц в электрическом и магнитном полях

3.1. Общие уравнения движения

3.2. Движение частиц в аксиально-симметричных полях

3.3. Движение частиц в плоскопараллельных полях

3.4. Численные методы расчета траекторий заряженных частиц

3.5. Электростатические линзы

3.6. Магнитные линзы на основе соленоидов

3.7. Магнитные линзы на основе постоянных магнитов

Глава 4. Движение потоков заряженных частиц

4.1. Особенности движения потоков заряженных частиц

4.2. Упрощенные физические модели потоков заряженных частиц

4.3. Методы решения системы уравнений в гидродинамическом приближении

4.4. Приближенный учет кулоновского поля

4.5. Расчет движения пучков в каналах, свободных от внешних полей

4.6. Влияние положительных ионов на распространение электронных пучков

4.7. Рассеяние электронных пучков на молекулах остаточного газа

4.8. Оценка влияния начальных (тепловых) скоростей на конфигурацию пучка

4.9. Методика решения самосогласованных электронно-оптических задач

Глава 5. Электронные пушки

5.1. Задача формирования электронных пучков

5.2. Пушки для формирования ленточных пучков

5.3. Пушки для формирования сплошных аксиально-симметричных пучков

5.4. Пушки для формирования полых аксиально-симметричных пучков

5.5. Электронные пушки с управляющими электродами

5.6. Проектирование электронных пушек с использованием ЭВМ

Глава 6. Электронные и ионные пушки с автоэмиссионными и плазменными эмиттерами

6.1. Основные свойства и параметры пушек

6.2. Слаботочные электронные и ионные пушки с автоэмиссионными катодами

6.3. Сильноточные электронные пушки с взрывоэмиссионными катодами

6.4. Плазменные источники электронов и ионов

6.5. Способы извлечения из плазмы заряженных частиц и формирования ионных и электронных пучков

Глава 7. Магнитные фокусирующие системы

7.1. Системы фокусировки сплошных аксиально-симметричных пучков однородным магнитным полем

7.2. Системы реверсивной и периодической фокусировки сплошных аксиально-симметричных пучков

7.3. Системы фокусировки полых (трубчатых) аксиально-симметричных пучков

7.4. Системы фокусировки ленточных электронных пучков

7.5. Проектирование магнитных фокусирующих систем на ЭВМ

Глава 8. Электростатические фокусирующие системы

8.1. Системы фокусировки сплошных аксиально-симметричных пучков

8.2. Системы фокусировки ленточных пучков

8.3. Системы фокусировки полых аксиально-симметричных пучков

Глава 9. Зондовые электронно-оптические системы

9.1. ЭОС электронно-лучевых сварочных установок

9.2. ЭОС установок электронно-лучевой литографии

9.3. ЭОС установок ионной имплантации

Глава 10. Движение интенсивных релятивистских потоков заряженных частиц

10.1. Релятивистские уравнения движения

10.2. Сильноточные релятивистские пучки в вакуумных каналах

10.3. Нейтрализованные сильноточные пучки

10.4. Траекторный анализ релятивистских электронных пучков на ЭВМ

Глава 11. Методы экспериментального исследования электронных и ионных пучков

11.1. Вопросы измерения параметров пучков

11.2. Классификация и краткая характеристика методов экспериментального исследования электронных и ионных пучков

11.3. Метод подвижного коллектора с малым отверстием и способ повышения его чувствительности

11.4. Применение коаксиального зонда с полупроводниковой мишенью для исследования структуры электронных пучков

Приложение 1. Эмиттанс и яркость

Приложение 2. Тексты программ на языке Фортран и комментарии к ним

Список литературы