Монография отражает последние достижения одной из наиболее интересных областей применения металлоорганических соединений --- получение неорганических пленок и покрытий термическим разложением МОС. Рассмотрены теоретические основы процесса осаждения покрытий, особенности их структуры и морфологии, приводится технология получения пленок.
Книга предназначена для научных сотрудников, работников различных отраслей промышленности, преподавателей, аспирантов... (Подробнее)
