КНИГИ НА РУССКОМ ЯЗЫКЕ


 
Обложка Киреев В., Столяров А. Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
Id: 34623
 
101 руб.

Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы

2006. 192 с. Твердый переплет. ISBN 5-94836-039-3.

Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ),используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС),и показаны тенденции их развития.Приведены основные характеристики элементов микроструктур ИМС,получаемых в процессах ХОГФ, а также технологические характеристики самих процессов и используемых реагентов.Приведены основные электрофизические характеристики осаждаемых пленок.