URSS.ru - Издательская группа URSS. Научная и учебная литература
Об издательстве Интернет-магазин Контакты Оптовикам и библиотекам Вакансии Пишите нам
КНИГИ НА РУССКОМ ЯЗЫКЕ


 
Вернуться в:
Обложка Броудай И., Мерей Дж. Физические основы микротехнологии: Пер. с англ.
Id: 2746
 
1999 руб.

Физические основы микротехнологии: Пер. с англ.

1985. 496 с. Твердый переплет. Букинист. Состояние: 4+. Есть погашенная библиотечная печать.

В книге американских специалистов изложены физические принципы основных технологических процессов современной микроэлектроники, включая субмикронную литографию, сухое травление, лазерный и электронно-лучевой отжиг. Рассмотрены перспективы совершенствования технологии и фундаментальные ограничения на дальнейшее развитие микроэлектроники. Для специалистов в области электронной техники, а также студентов и аспирантов соответствующих специальностей вузов.

 

© URSS 2017.

Информация о Продавце