URSS.ru - Издательская группа URSS. Научная и учебная литература
Об издательстве Интернет-магазин Контакты Оптовикам и библиотекам Вакансии Пишите нам
КНИГИ НА РУССКОМ ЯЗЫКЕ


 
Вернуться в: Каталог  
Обложка Броудай И., Мерей Дж. Физические основы микротехнологии: Пер. с англ.
Id: 2746
 
Букинист. 1850 руб.

Физические основы микротехнологии: Пер. с англ.

1985. 496 с. Твердый переплет.

 Аннотация

В книге американских специалистов изложены физические принципы основных технологических процессов современной микроэлектроники, включая субмикронную литографию, сухое травление, лазерный и электронно-лучевой отжиг. Рассмотрены перспективы совершенствования технологии и фундаментальные ограничения на дальнейшее развитие микроэлектроники. Для специалистов в области электронной техники, а также студентов и аспирантов соответствующих специальностей вузов.

 
© URSS 2016.

Информация о Продавце