Обложка Лаврищев В.П. Введение в фотолитографию
Id: 26258

Введение в фотолитографию

1977. 400 с. Букинист. Состояние: 4+. Есть погашенная библиотечная печать.
  • Твердый переплет

Аннотация

В книге освещены основные проблемы современной фотолитографии и оценены перспективы ее развития. Рассмотрены свойства фоторезистов, процессы образования фоторезистивных покрытий, способы получения фотошаблонов, процессы восроиизведения изображений элементов микросхем на фоторезисте и на подложке, контактная и проекционная фотолитография, применение гологафических методов в фотолитографии, электронолитография. Рассмотрено применение фотолитографии при изготовлении интегральных микросхем по тонкопленочной технологии.