КНИГИ НА РУССКОМ ЯЗЫКЕ


 
Обложка -- Труды ФТИАН. Т.27: Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника. Физика, технология, диагностика и моделирование
Id: 241258
 
594 руб.

Труды ФТИАН. Т.27: Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника. Физика, технология, диагностика и моделирование. Т.27

2018. 138 с. Мягкая обложка. ISBN 978-5-02-040089-4.

Монографический сборник представляет теоретические и экспериментальные результаты, полученные сотрудниками Института в области физики, моделирования и технологий передовых нанотранзисторных структур для логических интефальных схем (УБИС). наноструктур для твердотельных генераторов терагерцового диапазона частот. Представлены исследования ключевых технологических процессов изготовления таких приборов с критическими размерами 11—32 нм: электронно-лучевой литографии, плазменного нано-структурирования, атомно-слоевого осаждения диэлектриков и металлов. Приводятся результаты в области микроструктурирования пористых low-k диэлектриков для систем многоуровневой металлизации. Большинство исследований проведено в рамках Программы ФНИ ФАНО России. Для специалистов в области микро- и наноэлектроники, аспирантов и студентов старших курсов соответствующих специальностей.