КНИГИ НА РУССКОМ ЯЗЫКЕ


 
Обложка Машкова Е.С. Фундаментальные и прикладные аспекты распыления твердых тел: Сб. статей 1986-1987 гг.: Пер. с англ.
Id: 2312
 
1399 руб.

Фундаментальные и прикладные аспекты распыления твердых тел: Сб. статей 1986-1987 гг.: Пер. с англ.

1989. 349 с. Твердый переплет. ISBN 5-03-000280-4.

Сборник обзорных статей американских, европейских и канадских специалистов, в которых обобщаются и анализируются современные методы распыления материалов под действием ионных пучков и частиц плазмы, используемые в микроэлектронике, космической и термоядерной технологии и др. Рассмотрены

методы анализа и моделирования распыления материалов, в том числе многослойных покрытий и многокомпонентных материалов, описаны методы расчета топологии поверхностей, образующихся под действием ионной бомбардировки.

Для специалистов в области радиационного материаловедения, микроэлектроники, физической электроники, физики плазмы, а также студентов и аспирантов соответствующих специальностей.