КНИГИ НА РУССКОМ ЯЗЫКЕ


 
Обложка Толливер Д., Новицки Р., Хесс Д. и др. Плазменная технология в производстве СБИС: Пер. с англ. с сокращ.
Id: 2287
 
1999 руб.

Плазменная технология в производстве СБИС: Пер. с англ. с сокращ.

1987. 470 с. Твердый переплет. Букинист. Состояние: 4+. .

Монография ведущих специалистов США и Японии, в которой рассмотрены вопросы физики, химии и технологии применения плазменной обработки в производстве СБИС. Книга является своеобразной энциклопедией по физике и химии процессов осаждения, литографии и травления с применением ионно-плазменных методов.

Для специалистов в областях физической электроники, физики плазмы и технологии изготовления изделий микроэлектроники, а также студентов и аспирантов соответствующих специальностей.