URSS.ru - Издательская группа URSS. Научная и учебная литература
Об издательстве Интернет-магазин Контакты Оптовикам и библиотекам Вакансии Пишите нам
КНИГИ НА РУССКОМ ЯЗЫКЕ


 
Вернуться в: Каталог  
Обложка Пирс К., Адаме А., Кац Л. и др. Технология СБИС: В 2-х кн: Пер. с англ.
Id: 2275
 
1999 руб.

Технология СБИС: В 2-х кн: Пер. с англ. Т.1,2

1986. 857 с. Твердый переплет. Букинист. Состояние: 4. 1комплект. Есть погашенная библиотечная печать.

 Аннотация

В книге ведущих американских специалистов освещены вопросы технологии изготовления кремниевых ИС.

В книге 1 рассмотрены вопросы получения монокристаллов кремния, подготовки подложек, выращивания эпитаксиальных слоев, осаждения пленок различных материалов, термического окисления, диффузии, ионной имплантации, а также литографические методы формирования топологических рисунков с субмикронньми размерами элементов.

В книге 2 рассмотрены вопросы ионно-плазменной технологии применительно к процессам удаления вещества, металлизации ИС, моделирования основные технологических процессов формирования ИС. Описаны основные технологические схемы изготовления элементов СБИС (биполярная технология, n-МОП и

КМОП-технологии), методы исследования и контроля технологических процессов, герметизация готовых ИС, тестирование и надежность готовых ИС.

Для студентов старших курсов вузов соответствующего профиля, аспирантов и специалистов в области проектирования, технологии изготовления и применения ИС.

Для студентов старших курсов вузов соответствующего профиля, аспирантов и специалистов в области проектирования, технологии изготовления и применения ИС.

 
© URSS 2016.

Информация о Продавце