КНИГИ НА РУССКОМ ЯЗЫКЕ


 
Обложка Гуляев Ю.В., Иванов В.И., Лучников П.А. Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. интегральные схемы. Учебник для бакалавриата и магистратуры
Id: 216694
 
1185 руб.

Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. интегральные схемы. Учебник для бакалавриата и магистратуры

2017. 460 с. Твердый переплет. ISBN 978-5-534-03170-6.

Книга посвящена рассмотрению широкого круга физических принципов, определяющих технологические процессы изготовления интегральных схем радиоэлектронной аппаратуры — технологии получения кремниевых пластин, их оксидирования, диффузии, ионного легирования, литографии, сухого травления, сборки и герметизации готовых микроприборов. Также рассмотрены процессы формирования тонких пленок различными технологическими методами. Приведены основные схемы технологического оборудования и оснастки.