|
Содержание
Введение . .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. . 5 Литература . .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. . 8 Г л а в а 1. Методические вопросы исследования параметров плазмы и гетерогенных плазменных процессов . .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. . 10 § 1.1. Общая характеристика экспериментальных установок и обору- дования . .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. . 10 § 1.2. Получение газов и приготовление газовых смесей . .. .. .. .. .. .. .. .. . 12 § 1.3. Определение температуры нейтральных невозбужденных частиц 14 § 1.4. Определение приведенной напряженности электрического поля 19 § 1.5. Измерение концентраций нейтральных невозбужденных частиц 21 § 1.6. Измерение плотности потока положительных ионов на стенку реактора. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. . 31 § 1.7. Объекты исследования и измерение скоростей травления . .. .. .. . 33 § 1.8. Моделирование плазмы. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. . 34 § 1.9. Гетерогенные процессы травления в условиях ННГП: основные понятия и подходы к анализу. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. . 39 Литература . .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. . 46 Г л а в а 2. Параметры плазмы и закономерности образования и ги- бели активных частиц при разряде в хлоре . .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. . 53 § 2.1. Кинетическая схема процессов в плазме хлора . .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. . 53 § 2.2. Сечения процессов под действием электронного удара . .. .. .. .. .. . 61 § 2.3. Результаты экспериментального исследования ННГП в хлоре. Электрофизические параметры плазмы . .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. . 65 § 2.4. Кинетика образования и гибели нейтральных частиц. Стацио- нарный массовый состав нейтральной компоненты газовой фазы 70 § 2.5. Кинетика образования и гибели заряженных частиц. Массовый состав ионной компоненты газовой фазы . .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. . 74 § 2.6. Излучение разряда в хлоре . .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. . 80 § 2.7. Потоки активных частиц на поверхность и механизмы травления в хлорной плазме . .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. . 90 Заключение . .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. . 93 Литература . .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. . 94 Г л а в а 3. Механизмы образования и гибели активных частиц в плазме смесей хлора с Ar, N 2 , H 2 и O 2 . .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. . 104 § 3.1. Результаты экспериментального исследования плазмы бинарных смесей хлора с Ar, N 2 , H 2 и О 2 . .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. . 106 § 3.2. Электрофизические и кинетические параметры плазмы в смеси хлор–аргон . .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. . 110 § 3.3. Электрофизические и кинетические параметры плазмы в смеси хлор–азот . .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. . 121 § 3.4. Электрофизические и кинетические параметры плазмы в смеси хлор–кислород. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. . 132 § 3.5. Электрофизические и кинетические параметры плазмы в смеси хлор–водород . .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. . 142 § 3.6. Анализ возможных механизмов влияния начального состава смеси на скорость травления . .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. . 154 Заключение . .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. . 160 Литература . .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. . 161 Г л а в а 4. Кинетика и механизмы травления Cu, GaAs и Si в плазме хлора и его смесей с Ar, N 2 , H 2 и O 2 . .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. . 170 § 4.1. Кинетика и механизмы травления Cu в плазме Cl 2 и Cl 2 /Ar . .. . 172 § 4.2. Кинетика и механизмы травления GaAs в плазме Cl 2 и в смесях Cl 2 /Ar, Cl 2 /N 2 , Cl 2 /O 2 и Cl 2 /H 2 . .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. . 187 § 4.3. Кинетика и механизмы травления монокристаллического крем- ния в плазме Cl 2 и в смеси Cl 2 /Ar . .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. . 199 Заключение: анализ механизмов влияния начального состава смеси на скорость травления . .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. . 206 Литература . .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. . 208 |