Обложка Таруи Я. Основы технологии СБИС (сверхбольших интегральных схем). Пер. с япон.
Id: 19158
999 руб.

Основы технологии СБИС (сверхбольших интегральных схем).
Пер. с япон.

1985. 480 с. Букинист. Состояние: 4+. Есть погашенная библиотечная печать.
  • Твердый переплет

Аннотация

В книге известного японского ученого расмотрены методы электронно-лучевой, фото- и рентгеновской литографии, применяемые при изготовлении сверхбольших интегральных схем. Дана классификация различных типов дефектов, методов их диагностики и путей совершенстования используемвых материалов.