КНИГИ НА РУССКОМ ЯЗЫКЕ


 
Обложка Гриценко В.А. Строение и электронная структура аморфных диэлектриков в кремниевых МДП структурах
Id: 120832
 

Строение и электронная структура аморфных диэлектриков в кремниевых МДП структурах

1993. 280 с. Мягкая обложка. ISBN 5-02-030198-1. Букинист. Состояние: 4+. .
Обращаем Ваше внимание, что книги с пометкой "Предварительный заказ!" невозможно купить сразу. Если такие книги содержатся в Вашем заказе, их цена и стоимость доставки не учитываются в общей стоимости заказа. В течение 1-3 дней по электронной почте или СМС мы уточним наличие этих книг или отсутствие возможности их приобретения и сообщим окончательную стоимость заказа.

В книге представлены результаты фундаментальных исследований по строению, электронной структуре, оптическим свойствам (включая фотозмиссию), природе глубоких центров в наиболее важных диэлектриках кремниевых интегральных схем --- аморфных нитридах и окпслах кремния (SiО2, Si3N4, SiOx. SiNхOу, SiNx:H). Отличительной особенностью настоящего- издания является обсуждение физических свойств во взаимосвязи с атомным составом и технологией.

Монография представляет интерес для физиков (теоретиков и экспериментаторов), работающих в области физики неупорядоченных конденсированных систем, для разработчиков полупроводниковых приборов и микросхем.