КНИГИ НА РУССКОМ ЯЗЫКЕ


 
Вернуться в:
Обложка Галперин В.А., Данилкин Е.В., Мочалов А. Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие
Id: 118789
 
319 руб.

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие

2015. 283 с. Твердый переплет. ISBN 978-5-9963-0032-7.

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования.

Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.