URSS.ru - Издательская группа URSS. Научная и учебная литература
Об издательстве Интернет-магазин Контакты Оптовикам и библиотекам Вакансии Пишите нам
КНИГИ НА РУССКОМ ЯЗЫКЕ


 
Вернуться в: Каталог  
Обложка Афанасьев А.М., Александров П.А., Имамов P.M. Рентгенодифракционная диагностика субмикронных слоев
Id: 118141
 

Рентгенодифракционная диагностика субмикронных слоев

1989. 152 с. Мягкая обложка. ISBN 5-02-014020-1. Букинист. Состояние: 4+. Есть погашенная печать расформированной библиотеки.
Обращаем Ваше внимание, что книги с пометкой "Предварительный заказ!" невозможно купить сразу. Если такие книги содержатся в Вашем заказе, их цена и стоимость доставки не учитываются в общей стоимости заказа. В течение 1-3 дней по электронной почте или СМС мы уточним наличие этих книг или отсутствие возможности их приобретения и сообщим окончательную стоимость заказа.

 Аннотация

Излагаются основы теории дифракции рентгеновских лучей в кристаллах высокой степени совершенства и подробно анализируются особенности дифракционного рассеяния в нестандартных схемах дифракции, позволяющие создать новые неразрушающие методы диагностики слоев и границ раздела, еще не нашедшие отражения в научных монографиях.

Возможности методов иллюстрируются конкретными примерами исследования технологических процессов микроэлектроники.

Для научных работников и инженеров, специализирующихся в области физики твердого тела и полупроводникового материаловедения, а также аспирантов и студентов соответствующих специальностей.


 Оглавление

Предисловие

Введение

Глава 1

Дифракция рентгеновских пучей в совершенных кристаллах

§ 1.1. Кинематическое рассеяние

§ 1.2. Дифракция на двумерной решетке

§ 1.3. Динамическое рассеяние. Метод Дарвина

§ 1.4. Уравнения Максвелла в периодической среде

§ 1.5. Поляризуемостькристаллов в рентгеновском диапазоне частот

§ 1.6. Брэгговское отражение совершенным кристаллом

§ 1.7. Дифракция в геометрии Лауэ

§ 1.8. Стоячие рентгеновские волны и рентгеновская интерферометрия

§ 1.9. Нецентросимметричные кристаллы

§ 1.10. Асимметричные схемы дифракции

§ 1.11. Дифракция в искаженных кристаллах

Глава 2

Трехкристальная рентгеновская дифрактометрия

§ 2.1. Двухкристальная схема

§ 2.2. Трехкристальный рентгеновский спектрометр

§ 2.3. Формирование пиков на спектрах ТРД

§ 2.4. Метод асимптотической брэгговской дифракции

§ 2.5. Послойный анализ структуры границ раздела

§ 2.6. Структура чистой поверхности

Глава 3

Дифракция рентгеновских лучей в условиях полного внешнего отражения

§ 3.1. Показатель преломления и зеркальное отражение рентгеновских лучей

§ 3.2. Дифракция рентгеновских лучей при зеркальном отражении

§ 3.3. Кристаллы с малым углом скоса

§ 3.4. Дифрактометр рентгеновский зеркальный

§ 3.5. Спектры кристаллов с аморфной поверхностной пленкой

§ 3.6. Исследование ионоимплантированных слоев

§ 3.7. Исследования структуры поверхности и адсорбированных монослоев

§ 3.8. О "поверхностных" рентгеновских волнах

Глава 4

Скользящая геометрия Брэгга-Лауэ

§ 4.1. Кристаллы с четырехградусным срезом и скользящая схема дифракции

§ 4.2. Поверхностный брэгговский пик

§ 4.3. Модифицированная динамическая теория (МДТ)

§ 4.4. Дифракционное рассеяние на границе геометрии Брэгга-Лауэ

§ 4.5. Собственные кривые дифракционного отражения

§ 4.6. Трехкристальная дифрактометрия в скользящей геометрии

4.6.1. Параллельная развертка (87). 4.6.2. Перпендикулярная развертка ( 90 )

§ 4.7. Топография в скользящей геометрии

Глава 5

Метод стоячих рентгеновских волн

§ 5.1. Вторичные излучения при поглощении рентгеновского излучения

§ 5.2. Угловая зависимость.выхода вторичных излучений

§ 5.3. Излучения с большой и малой длинами выхода

§ 5.4. Выход вторичных излучений из многокомпонентных кристаллов

§ 5.5. Чувствительность к малым смещениям поверхностного слоя кристалла

§ 5.6. Методы регистрации фотоэлектронов и варьирование глубины выхода

§ 5.7. Выход фотоэлектронов при дифракции в скользящей геометрии Лауэ

§ 5.8. Восстановление функции вероятности выхода фотоэлектронов

§ 5.9. Исследование нарушенных слоев при дифракции Лауэ в скользящей геометрии

§ 5.10. Восстановление профиля нарушений по рентгенодифракционным и фотоэмиссионным кривым

§ 5.11. Фотоэмиссия при асимметричной дифракции

§ 5.12. Фотоэмиссия в скользящей геометрии Брэгта-Лауэ

§ 5.13. Флуоресценция в скользящей геометрии Брэгга-Лауэ

§ 5.14. Специфика выхода комптоновского и теплового диффузного излучений

§ 5.15. Определение положения примесей в кристаллической решетке

§ 5.16. Выход вторичных излучений при дифракции в условиях полного внешнего отражения

§ 5.17. О предельных возможностях метода стоячих рентгеновских волн при фотоэмиссии электронов

Заключение

Список литературы

 
© URSS 2016.

Информация о Продавце