URSS.ru - Издательская группа URSS. Научная и учебная литература
Об издательстве Интернет-магазин Контакты Оптовикам и библиотекам Вакансии Пишите нам
КНИГИ НА РУССКОМ ЯЗЫКЕ


 
Вернуться в: Каталог  
Обложка Колешко В.М., Ковалевский А.А. Поликристаллические пленки полупроводников в микроэлектронике
Id: 118040
 
1699 руб.

Поликристаллические пленки полупроводников в микроэлектронике

1978. 344 с. Твердый переплет. Букинист. Состояние: 4+. В суперобложке (4-).

 Аннотация

В книге сделан первый и пока единственный обзор практических и теоретических достижений в области создания и применения поликристаллических пленок кремния, германия, теллура, селена и соединений группы AIIIBV в микроэлектронике для изготовления полупроводниковых интегральных схем. Приведены данные по методам получения и кинетике роста, структуре, физическим и химическим свойствам поликристаллических пленок полупроводниковых материалов. Рассмотрены физические методы стимулирования процессов получения тонких пленок с использованием электрического поля, лазерного излучения, электронного облучения, УФ- и СВЧ-полей, ультра- и гиперзвуковых упругих колебаний.

 
© URSS 2016.

Информация о Продавце