В сборнике содержатся работы, посвященные изучению физико-химических основ легирования полупроводниковых материалов. Рассмотрены следующие проблемы: примесные атомы и уровни, создаваемые ими; диаграммы состояния полупроводник-легирующая добавка; коэффициенты распределения; диффузия легирующих компонентов; макро- и микросегрегация легирующих компонентов; взаимодействие атомов легирующих компонентов с несовершенствами решетки в полупроводниках;... (Подробнее)
