URSS.ru - Издательская группа URSS. Научная и учебная литература
Об издательстве Интернет-магазин Контакты Оптовикам и библиотекам Вакансии Пишите нам
КНИГИ НА РУССКОМ ЯЗЫКЕ


 
Вернуться в: Каталог  
Обложка Федотов Я.А., Поль Г. Фотолитография и оптика
Id: 111715
 

Фотолитография и оптика

1974. 392 с. Твердый переплет. Букинист. Состояние: 4. .
Обращаем Ваше внимание, что книги с пометкой "Предварительный заказ!" невозможно купить сразу. Если такие книги содержатся в Вашем заказе, их цена и стоимость доставки не учитываются в общей стоимости заказа. В течение 1-3 дней по электронной почте или СМС мы уточним наличие этих книг или отсутствие возможности их приобретения и сообщим окончательную стоимость заказа.

 Аннотация

Изложен процесс фотолитографии в производстве изделий полупроводниковой электроники и микроэлектроники, описаны методы изготовления фотошаблонов и основное оптикомехани-ческое оборудование для этих целей, а также контрольно-измерительные приборы разработки народного предприятия «Карл Цейсе йена» (ГДР) для оценки характеристик фотошаблонов. Приведены основные соотношения классической оптики применительно к технике изготовления фотошаблонов и фотолитографии и инструментальные погрешности при изготовлении фотошаблонов.

Книга рассчитана на специалистов, занимающихся микро-фотогравировкой при разработке и производстве полупроводниковых приборов, микросхем и печатных схем, а также на студентов соответствующих вузов.


 Оглавление

Я. А. Федотов (СССР)

1. полупроводниковая электроника и прогресс современной техники

В. В. Волцит (СССР)

2. планарная технология и фотолитографический метод

И. Н. Рубцов, И. Шиллинг (СССР, ГДР)

3. основные законы оптики, характеристики объективов и их испытание

Г. Поль, И. Н. Рубцов (ГДР, СССР)

4. фотошаблоны. технические требования и возможные ошибки при их изготовлении

И. Н. Рубцов, А. Хайрот (СССР, ГДР)

5. структура цехов и участков производства фотошаблонов

И. Н. Рубцов, О. Вайбрехт, Н. И. Белое, Е. Б. Гурвич (СССР, ГДР)

6. основные материалы для фотошаблонов и фотолитографии

П. Домшке, О. Вайбрехт, А. Грюневальд, А. Кебшуль, И. Я- Рубцов (ГДР, СССР)

7. координатографы

И. Н. Рубцов, И. Шиллинг (СССР, ГДР)

8. оборудование для изготовления промежуточных фотошаблонов

Ю. А. Саркисов, И- Н. Рубцов, А. В. Панюшкин (СССР)

9. фотоповторители

И. Н. Рубцов, Н. И. Белов (СССР)

10. изготовление рабочих фотошаблонов

Ю. П. Клюев (СССР)

11. установки совмещения и экспонирования

О. Вайбрехт, И. Н. Рубцов (ГДР, СССР)

12. контрольно-измерительные приборы

И. Н. Рубцов (СССР)

13. возможности и ограничения методов изготовления фотошаблонов и фотолитографии.

 
© URSS 2016.

Информация о Продавце