URSS.ru - Издательская группа URSS. Научная и учебная литература
Об издательстве Интернет-магазин Контакты Оптовикам и библиотекам Вакансии Пишите нам
КНИГИ НА РУССКОМ ЯЗЫКЕ


 
Вернуться в: Каталог  
Обложка Гаврилов С.А., Белов А.Н. Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники.
Id: 107988
 

Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники.

2009. 260 с. Твердый переплет. ISBN 978-5-9692-0304-4.
Обращаем Ваше внимание, что книги с пометкой "Предварительный заказ!" невозможно купить сразу. Если такие книги содержатся в Вашем заказе, их цена и стоимость доставки не учитываются в общей стоимости заказа. В течение 1-3 дней по электронной почте или СМС мы уточним наличие этих книг или отсутствие возможности их приобретения и сообщим окончательную стоимость заказа.

 Аннотация

Изложены основы электрохимических процессов, применяемых в технологии микро- и наноструктур, которые интенсивно развиваются в последнее время. Учебное пособие содержит краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики, описание механизмов формирования твердотельных микро- и наноструктур, сведения об особенностях получения и применения пористого кремния, описание электрохимических процессов в технологии МЭМС, процессов формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применения в микро- и нанотехнологии, процессов анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа, катодного осаждения металлов и полупроводников, их применения в технологии УБИС, МЭМС и нанотехнологии. Для студентов, обучающихся по специальностям 210100 «Электроника и микроэлектроника», 010803 (014100) «Микроэлектроника и полупроводниковые приборы, 210100 (550700) «Электроника и микроэлектроника (бакалавр)», а также для аспирантов, научных работников и инженеров.


 Оглавление

Список сокращений..........................................................6

Предисловие....................................................................8

Введение........................................................................Ю

Глава 1. Законы и положения теории электродных процессов......................................................................12

1.1. Предмет электрохимии

Основные понятия и определения............................................12

1.2. Электролитическая диссоциация.......................................16

1.3. Электрическая проводимость растворов электролитов.....................................................................................19

1.4. Механизм образования ЭДС и природа электродного потенциала.............................................................22

1.5. Двойной электрический слой вблизи поверхности металлического электрода и его строение.............................27

1.6. Термодинамическое выражение

для равновесного электродного потенциала..........................28

1.7. Диаграммы электрохимического равновесия................34

1.8. Основные принципы кинетики

электродных процессов.................................................................42

1.9. Полупроводниковые электроды

в электрохимических процессах.................................................56

1.10. Энергетические характеристики ячейки

с полупроводниковым электродом............................................65

1.11. Методика построения энергетической диаграммы полупроводник---электролит.......................................................68

1.12. Кинетика электродных реакций на полупроводниковых электродах................................................69

1.13. Электрохимическое разложение и пассивность полупроводников.............................................................................73

Глава 2. Процессы анодного растворения в технологии

микро- и наноструктур....................................................76

2.1. Анодное растворение полупроводников..........................78

2.1.1. Анодное растворение кремния в электролитах, содержащих HF............................................................................79

2.1.2. Поляризационная кривая кремния

в водном растворе HF.................................................................80

2.1.3. Зонная энергетическая диаграмма

системы Si --- водный раствор HF..........................................82

2.1.4. Механизм окислительно-восстановительного процесса, определяющего состояние кремниевого электрода в растворах HF.........................................................84

2.1.5. Начальные стадии формирования пор......................87

2.1.6. Электрохимическое равновесие

в системе Si-HF-H20..............................................................98

2.1.7. Диффузионные ограничения массопереноса

в системе por-Si---электролит.................................................101

2.1.8. Анодное растворение в технологии кремниевых микро- и наноструктур...................................105

2.2. Анодное растворение кремния в щелочных электролитах....................................................................................133

Глава 3. Анодные оксидные пленки в технологии полупроводников и твердотельных наноструктур...........140

3.1. Типы анодных оксидных пленок и электролиты

для их получения...........................................................................141

3.2. Закономерности образования барьерных анодных оксидов на поверхности металлов и полупроводников.... 142

3.3. Применение барьерных анодных оксидов

в технологии микроэлектроники.............................................147

3.3.1. Маскирование поверхности полуизолирующего GaAs перед ионной имплантацией..........................;............147

3.3.2. Выравнивание активных слоев арсенидгаллиевых ПТШ.........................................................149

3.3.3. Автография дефектных областей полуизолирующего GaAs........................................................151

3.3.4. Применение барьерных анодных оксидов в технологии создания наноструктр

Метод локального зондового окисления...........................153

3.4. Пористый анодный оксид алюминия..............................169

3.4.1. Закономерности формирования

пористого оксида алюминия..................................................169

3.4.2. Электрохимический анализ строения и кинетики образования пористого анодного

оксида алюминия.......................................................................173

3.4.3. Фазовый состав анодных пленок

пористого оксида алюминия..................................................180

3.4.4. Диэлектрические свойства пористого

оксида алюминия.......................................................................182

3.4.5. Оптические свойства

пористого оксида алюминия..................................................185

3.4.6. Получение пористого оксида алюминия

с высокой степенью упорядоченности структуры..........187

3.4.7. Примеры применения пористого

оксида алюминия.......................................................................197

3.4.8. Пористые оксиды различных металлов..................210

Глава 4. Катодное осаждение в технологии микро

и наноструктур.............................................................214

4.1. Физико-химические основы катодного

осаждения материалов.................................................................214

4.2. Катодное осаждение меди в технологии УБИС..........218

4.3. Катодное осаждение сплавов в технологии соединения элементов микросистем.......................................224

4.4. LIGA-технологии...................................................................227

4.5. Осаждение наноразмерных кластеров металлов

на поверхность полупроводников............................................229

4.6. Матричное (темплатное) осаждение нитевидных нанокристаллов на постоянном токе......................................231

4.7. Матричное (темплатное) осаждение нитевидных нанокристаллов в реверсивном режиме................................248

Заключение.................................................................255

Литература................................................................256

 
© URSS 2016.

Информация о Продавце