Список сокращений..........................................................6 Предисловие....................................................................8 Введение........................................................................Ю Глава 1. Законы и положения теории электродных процессов......................................................................12 1.1. Предмет электрохимии Основные понятия и определения............................................12 1.2. Электролитическая диссоциация.......................................16 1.3. Электрическая проводимость растворов электролитов.....................................................................................19 1.4. Механизм образования ЭДС и природа электродного потенциала.............................................................22 1.5. Двойной электрический слой вблизи поверхности металлического электрода и его строение.............................27 1.6. Термодинамическое выражение для равновесного электродного потенциала..........................28 1.7. Диаграммы электрохимического равновесия................34 1.8. Основные принципы кинетики электродных процессов.................................................................42 1.9. Полупроводниковые электроды в электрохимических процессах.................................................56 1.10. Энергетические характеристики ячейки с полупроводниковым электродом............................................65 1.11. Методика построения энергетической диаграммы полупроводник—электролит.......................................................68 1.12. Кинетика электродных реакций на полупроводниковых электродах................................................69 1.13. Электрохимическое разложение и пассивность полупроводников.............................................................................73 Глава 2. Процессы анодного растворения в технологии микро- и наноструктур....................................................76 2.1. Анодное растворение полупроводников..........................78 2.1.1. Анодное растворение кремния в электролитах, содержащих HF............................................................................79 2.1.2. Поляризационная кривая кремния
в водном растворе HF.................................................................80
2.1.3. Зонная энергетическая диаграмма
системы Si — водный раствор HF..........................................82
2.1.4. Механизм окислительно-восстановительного процесса, определяющего состояние кремниевого электрода в растворах HF.........................................................84
2.1.5. Начальные стадии формирования пор......................87
2.1.6. Электрохимическое равновесие
в системе Si-HF-H20..............................................................98
2.1.7. Диффузионные ограничения массопереноса
в системе por-Si—электролит.................................................101
2.1.8. Анодное растворение в технологии кремниевых микро- и наноструктур...................................105
2.2. Анодное растворение кремния в щелочных электролитах....................................................................................133
Глава 3. Анодные оксидные пленки в технологии полупроводников и твердотельных наноструктур...........140
3.1. Типы анодных оксидных пленок и электролиты
для их получения...........................................................................141
3.2. Закономерности образования барьерных анодных оксидов на поверхности металлов и полупроводников.... 142
3.3. Применение барьерных анодных оксидов
в технологии микроэлектроники.............................................147
3.3.1. Маскирование поверхности полуизолирующего GaAs перед ионной имплантацией..........................;............147
3.3.2. Выравнивание активных слоев арсенидгаллиевых ПТШ.........................................................149
3.3.3. Автография дефектных областей полуизолирующего GaAs........................................................151
3.3.4. Применение барьерных анодных оксидов в технологии создания наноструктр
Метод локального зондового окисления...........................153
3.4. Пористый анодный оксид алюминия..............................169
3.4.1. Закономерности формирования
пористого оксида алюминия..................................................169
3.4.2. Электрохимический анализ строения и кинетики образования пористого анодного
оксида алюминия.......................................................................173
3.4.3. Фазовый состав анодных пленок
пористого оксида алюминия..................................................180
3.4.4. Диэлектрические свойства пористого
оксида алюминия.......................................................................182
3.4.5. Оптические свойства
пористого оксида алюминия..................................................185
3.4.6. Получение пористого оксида алюминия
с высокой степенью упорядоченности структуры..........187
3.4.7. Примеры применения пористого
оксида алюминия.......................................................................197
3.4.8. Пористые оксиды различных металлов..................210
Глава 4. Катодное осаждение в технологии микро
и наноструктур.............................................................214
4.1. Физико-химические основы катодного
осаждения материалов.................................................................214
4.2. Катодное осаждение меди в технологии УБИС..........218
4.3. Катодное осаждение сплавов в технологии соединения элементов микросистем.......................................224
4.4. LIGA-технологии...................................................................227
4.5. Осаждение наноразмерных кластеров металлов
на поверхность полупроводников............................................229
4.6. Матричное (темплатное) осаждение нитевидных нанокристаллов на постоянном токе......................................231
4.7. Матричное (темплатное) осаждение нитевидных нанокристаллов в реверсивном режиме................................248
Заключение.................................................................255
Литература................................................................256
|
2023. 720 с. Твердый переплет. 21.9 EUR
Книга «Зияющие высоты» – первый, главный, социологический роман, созданный интеллектуальной легендой нашего времени – Александром Александровичем Зиновьевым (1922-2006), единственным российским лауреатом Премии Алексиса де Токвиля, членом многочисленных международных академий, автором десятков логических... (Подробнее) URSS. 2023. 272 с. Мягкая обложка. 15.9 EUR
Настоящая книга посвящена рассмотрению базовых понятий и техник психологического консультирования. В ней детально представлены структура процесса консультирования, описаны основные его этапы, содержание деятельности психолога и приемы, которые могут быть использованы на каждом из них. В книге... (Подробнее) URSS. 2024. 704 с. Твердый переплет. 26.9 EUR
В новой книге профессора В.Н.Лексина подведены итоги многолетних исследований одной из фундаментальных проблем бытия — дихотомии естественной неминуемости и широчайшего присутствия смерти в пространстве жизни и инстинктивного неприятия всего связанного со смертью в обыденном сознании. Впервые... (Подробнее) 2023. 696 с. Твердый переплет в суперобложке. 119.9 EUR
Опираясь на новейшие исследования, историк Кристофер Кларк предлагает свежий взгляд на Первую мировую войну, сосредотачивая внимание не на полях сражений и кровопролитии, а на сложных событиях и отношениях, которые привели группу благонамеренных лидеров к жестокому конфликту. Кларк прослеживает... (Подробнее) URSS. 2024. 800 с. Мягкая обложка. 37.9 EUR
ВЕРСАЛЬ: ЖЕЛАННЫЙ МИР ИЛИ ПЛАН БУДУЩЕЙ ВОЙНЫ?. 224 стр. (ТВЁРДЫЙ ПЕРЕПЛЁТ) 11 ноября 1918 года в старом вагоне неподалеку от Компьеня было подписано перемирие, которое означало окончание Первой мировой войны. Через полгода, 28 июня 1919 года, был подписан Версальский договор — вердикт, возлагавший... (Подробнее) URSS. 2024. 344 с. Мягкая обложка. 18.9 EUR
Мы очень часто сталкиваемся с чудом самоорганизации. Оно воспринимается как само собой разумеющееся, не требующее внимания, радости и удивления. Из случайно брошенного замечания на семинаре странным образом возникает новая задача. Размышления над ней вовлекают коллег, появляются новые идеи, надежды,... (Подробнее) URSS. 2024. 576 с. Мягкая обложка. 23.9 EUR
Эта книга — самоучитель по военной стратегии. Прочитав её, вы получите представление о принципах военной стратегии и сможете применять их на практике — в стратегических компьютерных играх и реальном мире. Книга состоит из пяти частей. Первая вводит читателя в мир игр: что в играх... (Подробнее) URSS. 2024. 248 с. Мягкая обложка. 14.9 EUR
В книге изложены вопросы новой области современной медицины — «Anti-Ageing Medicine» (Медицина антистарения, или Антивозрастная медицина), которая совмещает глубокие фундаментальные исследования в биомедицине и широкие профилактические возможности практической медицины, а также современные общеоздоровительные... (Подробнее) URSS. 2024. 240 с. Твердый переплет. 23.9 EUR
Предлагаемая вниманию читателей книга, написанная крупным биологом и государственным деятелем Н.Н.Воронцовым, посвящена жизни и творчеству выдающегося ученого-математика, обогатившего советскую науку в области теории множеств, кибернетики и программирования — Алексея Андреевича Ляпунова. Книга написана... (Подробнее) 2023. 416 с. Твердый переплет. 19.9 EUR
Вам кажется, что экономика — это очень скучно? Тогда мы идем к вам! Вам даже не понадобится «стоп-слово», чтобы разобраться в заумных формулах — их в книге нет! Все проще, чем кажется. Автор подаст вам экономику под таким дерзким соусом, что вы проглотите ее не жуя! Вы получите необходимые... (Подробнее) |